Von Vakuumabscheidung bis Halbleiterätzen meistern unsere RF-Generatoren alles mühelos. Wählen Sie aus drei Produktserien das Produkt, das Ihren Anforderungen entspricht.

Unsere Anpassungseinheit verwendet einen schnellen Anpassungsalgorithmus und erreicht schnelle, präzise und zuverlässige Impedanzanpassung über mehrere Leistungsbereiche. Einfach zu installieren, Plug-and-Play.

Remote Plasma Source (RPS) wird in Reinigungsprozessen in der fortschrittlichen Fertigung eingesetzt. Injets RPS hilft, Ihre Produktionseffizienz zu verbessern.

Häufig für Nichtmetallbeschichtungen eingesetzt, verbessern schnelle Wellenform-Anpassungstechnologie und Lichtbogenlöschfunktion die Beschichtungsqualität und -effizienz erheblich.

Häufig für Metallbeschichtungen eingesetzt, können schnelle Lichtbogenerkennung und Lichtbogenlöschtechnologie die Beschichtungsqualität verbessern und Fehler reduzieren.

Wir bieten magnetronbasierte Mikrowellenquellen mit Produkten von 2450 MHz und 915 MHz zur Auswahl. Neben MPCVD-Anwendungen werden sie auch in Lebensmittelauftauung, Trocknung, Vulkanisation und anderen Bereichen eingesetzt.