MSD сериясы
Спуттердик энергия менен камсыздоо
01
- ● Рак орнотуу
- ● Тез жаа жооп, жооп берүү убактысы
- ● Төмөнкү энергияны сактоо,
- ● Compact орнотуу түзүмү, 3U стандарттык шасси
- ● Кытай/Англис дисплей интерфейси, иштетүү оңой
- ● Так башкаруу
- ● Чыгаруунун кеңири диапазону
- ● Кемчиликсиз коргоо функциясы
Киргизүү
- Киргизүү чыңалуу: 3AC380V±10%
- Кубаттуулугу: 20kW, 30kW
- Киргизүү кубаттуулугу жыштыгы: 50Hz/60Hz
Чыгуу
- Макс. чыгуу чыңалуу: 800V
- Макс. чыгуу ток: 50A, 75A
- Чыгуу токунун толкуну: ≤3% rms
- Output Voltage Ripple: ≤2% rms
Техникалык көрсөткүч
- От алдыруу чыңалуу: 1000V / 1200V кошумча
- Конверсиянын натыйжалуулугу: 95%
- Арктын өчүрүү убактысы: <100ns
- Байланыш интерфейси: Стандарттык RS485 / RS232 (PROFIBUS, PROFINET, DeviceNet жана EtherCAT милдеттүү эмес)
- Өлчөмү (H*W*D)мм: 132*482*560,176*482*700
- Муздатуу режими: аба муздатуу
Эскертүү: продукт инновацияларды улантууда жана аткарууну жакшыртууну улантууда. Бул параметр сүрөттөлүшү маалымдама үчүн гана.
-
MSD Series Sputtering Power Supply-Datasheet
Жүктөп алуу