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MSDシリーズ
スパッタリング電源

MSD シリーズ DC スパッタリング電源は、優れたアーク処理スキームとシームレスに統合された同社の高度なコア DC 制御システムを備えています。 この相乗効果により、比類のない安定性、信頼性の向上、アーク損傷の最小化、および優れたプロセス再現性を備えた製品が生まれます。 電源にはユーザーフレンドリーな中国語と英語の表示インターフェイスが装備されており、簡単に操作できます。 コンパクトな設置構造は標準の 3U シャーシ内に収められており、スペース利用が最適化されます。 制御の精度により全体的なパフォーマンスがさらに向上し、さまざまなアプリケーションにとって信頼性が高く効率的な選択肢となります。

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主な特徴

  • ●ラックへの設置
  • ● 高速アーク応答、応答時間
  • ● 底部エネルギー貯蔵、
  • ●コンパクトな設置構造、3U標準シャーシ
  • ●中国語/英語表示インターフェース、操作が簡単
  • ●正確な制御
  • ●幅広い出力範囲
  • ●万全の保護機能

主なパラメータ

入力

  • 入力電圧: 3AC380V±10%
  • 出力:20kW、30kW
  • 入力電源周波数: 50Hz/60Hz

出力

  • 最大。 出力電圧: 800V
  • 最大。 出力電流:50A、75A
  • 出力電流リップル: ≤3% rms
  • 出力電圧リップル: ≤2% rms

テクニカルインデックス

  • 点火電圧: 1000V / 1200V オプション
  • 変換効率: 95%
  • アークオフ時間:
  • 通信インターフェース:標準RS485 / RS232(PROFIBUS、PROFINET、DeviceNet、EtherCATはオプション)
  • 寸法(高さ*幅*奥行き)mm: 132*482*560、176*482*700
  • 冷却モード:空冷

注: 製品は革新を続けており、パフォーマンスは向上し続けています。 このパラメータの説明は参照のみを目的としています。

詳しくは

MSD シリーズ DC スパッタリング電源は、技術の進歩の頂点を示す最先端のソリューションです。 同社の最先端のコア DC 制御システムと優れたアーク処理メカニズムの統合を誇るこの電源は、性能と信頼性において新たな基準を打ち立てます。 高度な制御システムと革新的なアーク処理技術のシームレスな融合によって作られたこの製品は、比類のない安定性を保証し、信頼性を前例のないレベルに高めます。 アーク損傷は最小限に抑えられ、プロセスの再現性は並外れた高みに達し、使用するたびに一貫した正確な結果が保証されます。 電源にはユーザーフレンドリーな中国語と英語の表示インターフェイスが装備されており、簡単に操作できます。 コンパクトな設置構造は標準の 3U シャーシ内に収められており、スペース利用が最適化されます。 制御の精度により全体的なパフォーマンスがさらに向上し、さまざまなアプリケーションにとって信頼性が高く効率的な選択肢となります。

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