MSD-serien
Sputtering Strømforsyning
01
- ● Rack installation
- ● Hurtig lysbuerespons, responstid
- ● Bundenergilagring,
- ● Kompakt installationsstruktur, 3U standard chassis
- ● Kinesisk/engelsk skærmgrænseflade, nem at betjene
- ● Præcis kontrol
- ● Stort udvalg af output
- ● Perfekt beskyttelsesfunktion
Input
- Indgangsspænding: 3AC380V±10%
- Effekt: 20 kW, 30 kW
- Indgangseffektfrekvens: 50Hz/60Hz
Produktion
- Maks. udgangsspænding: 800V
- Maks. udgangsstrøm: 50A, 75A
- Udgangsstrømrippel: ≤3 % rms
- Udgangsspændingsrippel: ≤2 % rms
Teknisk indeks
- Tændingsspænding: 1000V / 1200V valgfri
- Konverteringseffektivitet: 95 %
- Lysbuetid: <100ns
- Kommunikationsgrænseflade: Standard RS485 / RS232 (PROFIBUS, PROFINET, DeviceNet og EtherCAT er valgfri)
- Dimension (H*B*D)mm: 132*482*560,176*482*700
- Køletilstand: luftkøling
Bemærk: produktet fortsætter med at innovere, og ydeevnen bliver ved med at forbedres. Denne parameterbeskrivelse er kun til reference.
-
MSD Series Sputtering Power Supply-Datablad
Hent