serie MSD
Sputtering Power Supply
01
- ● Installazione di rack
- ● Risposta d'arcu veloce, tempu di risposta
- ● Almacenamiento d'energia di fondu,
- ● Struttura di stallazione compacta, chassis standard 3U
- ● Interfaccia display Chinese/Inglese, facile à upirari
- ● Controlu precisu
- ● Wide range of output
- ● Funzione di prutezzione perfetta
Input
- Tensione d'ingressu: 3AC380V ± 10%
- Potenza: 20 kW, 30 kW
- Frequenza di putenza d'ingressu: 50Hz / 60Hz
Output
- Max. Tensione di output: 800V
- Max. corrente di uscita: 50A, 75A
- Ripple di corrente di uscita: ≤3% rms
- Ripple di Tensione di Output: ≤2% rms
Indice tecnicu
- Tensione di accensione: 1000V / 1200V opzionale
- Efficienza di cunversione: 95%
- Tempu di spegnimentu di l'arcu:
- Interfaccia di cumunicazione: Standard RS485 / RS232 (PROFIBUS, PROFINET, DeviceNet è EtherCAT sò opzionali)
- Dimensioni (H * W * D) mm: 132 * 482 * 560, 176 * 482 * 700
- Modu di raffreddamentu: raffreddamentu à l'aria
Nota: u pruduttu cuntinueghja à innuvà è u rendiment cuntinueghja à migliurà. Questa descrizzione di u paràmetru hè solu per riferimentu.
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MSD Series Sputtering Power Supply-Scheda dati
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